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    洁净厌氧高温气氛炉
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    洁净厌氧高温气氛炉
    C1-008
    光刻工艺后段 ，光刻胶固化。
    特点
    • 最高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
    • 程序运转功能 ，有自动/手动两种操作模式。
    • 快速升温 、降温，降温时可采用空冷 、空冷加水冷两种方式。
    • 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
    • 全不锈钢材质。
    • 在安全方面 ，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
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